藍寶石拋光液的特點:
1.高拋光速率,利用大粒徑的膠體二氧化硅粒子達到高速拋光的目的。
2.高純度(Cu含量小于50 ppb),有效減小對電子類產品的沾污。
3.高平坦度加工,藍寶石拋光液是利用SiO2的膠體粒子進行拋光,不會對加工件造成物理損傷,達到高平坦化加工。
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